얼라이먼트 스테이지 모듈형-SA…M

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설명

IKO 얼라이먼트 스테이지 모듈형 “SA…M”은 각도 조정기구를 가진 얼라이먼트 모듈 AM을 동일 평면상에 배치한 XYθ운동을 실현하는 저단면으로 대형의 정밀 위치결정 스테이지입니다.
특징(Feature)

다채로운 동작을 실현
XY방향의 직선운동은 물론,요동운동도 실행합니다.특히 요동에 있어서는 임의의 자유로운 운동을 요동중심에 설정할수 있으므로 동작의 자유도가 높고 다채로운 동작을 실현하고 있습니다.
대형 장치에 최적
얼라이먼트 모듈 “AM”을 알루미늄 금속제의 스테이지와 베이스에 조합하는 것으로 대형의 스테이지를 구성하고 있습니다.카탈로그 기재 사이즈 보다 더큰 대형 사이즈도 대응 가능하므로 희망하실때에는 IKO에 문의하여 주십시요.
고정도.고강성.고신뢰성
얼라이먼트 모듈 “AM”은 모든 분야에서 풍부한 실적을 자랑하는 IKO 정밀 위치결정 체이블 “TU”,고강성 크로스 롤러 베어링,리니어 웨이 “E”를 베이스로 하고 있기에 고정도.고강성.고신뢰성을 얻을수 있습니다.
중앙에 넓은 공간 활용
중앙에 사각에 큰 홀이 있으므로 하면에서 투과광측정.기계.장치의 코드배선등의 준비에도 편리합니다.

 

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