얼라이먼트 스테이지 다이렉트.드라이브 형-SA…D

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설명

얼라이먼트 스테이지 다이렉트.드라이브 형 “SA…D”는 직동안내에 IKO미니츄어 리니어 웨이,요동부분에 IKO 크로스 롤러 베어링을 사용한 다이렉트.드라이브 방식의 극컴팩트한 XYθ의 스테이지입니다. 반도체.액정관련 장치등의 화상처리를 이용한 얼라이먼트 처리나 크린한 환경을 요구하는 용도에 최적입니다.
특징(Feature)
컴팩트 → 돌기물이 없는 스퀘어 형상
→ 얇은 구조의 XYθ의 스테이지
– 단면 높이 SA65D : 56.5mm
– SA200D : 110mm
고속.고분해 성능 → 고분해 성능의 리니어 스케일 내장
→ 고속.고분해 성능의 양립
→ 분해성능
– XY방향 : 0.1㎛
고정도.고신뢰성 → 풀크로즈 도르프 제어
→ 넌 백래시구조
→ 반복 위치결정 정도
– XY방향 :±0.5㎛

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