얼라이먼트 스테이지 다이렉트.드라이브 형 “SA…D”는 직동안내에 IKO미니츄어 리니어 웨이,요동부분에 IKO 크로스 롤러 베어링을 사용한 다이렉트.드라이브 방식의 극컴팩트한 XYθ의 스테이지입니다. 반도체.액정관련 장치등의 화상처리를 이용한 얼라이먼트 처리나 크린한 환경을 요구하는 용도에 최적입니다.
특징(Feature)
ㆍ컴팩트
→ 돌기물이 없는 스퀘어 형상
→ 얇은 구조의 XYθ의 스테이지
– 단면 높이 SA65D : 56.5mm
– SA200D : 110mm
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